什么是光刻机

光刻机是采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上的设备。光刻机(lithography)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。光刻机一般根据操作的简便性分为三种,...

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