一台光刻机体积有多大

根据百度百科显示,一台光刻机体积非常大,大约为一百多立方米,与一辆公交汽车大小差不多。光刻机,又称为掩模对准曝光机,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片...

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